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主要用于在125mm×125mm或156mm×156mm太阳能硅片上淀积氮化硅减反射钝化膜。
产品特点：
◆送片方式：悬臂/软着陆（推荐）
◆进口射频电源、压力控制系统、进口干泵等。
◆进口数控钣金机床加工，整机结构合理，媲美进口同类设备。
◆全面满足用户的技术指标要求，突出产品的稳定性，一致性。
◆工控机自动控制系统，工艺过程参数显示、修改、记录等，操作更加直观便捷；
◆设备操作方便，模块化设计，使用及维护方便；
◆方便的温区调整方式（或自动温区调整）更加快捷；
◆高质量的加热炉体，确保恒温区的高稳定性及长寿命。
主要技术指标：
◆工艺片数：125mm×125mm/256片/批，156mm×156mm/216片/批
◆炉体口径：适应石英管外径φ400mm
◆工作温度范围：150～500℃
◆恒温区长度及精度：1100mm/±1.5℃
◆悬臂式送料装置： 50mm/min～900mm/min连续可调
◆压力控制范围：100～300Pa（闭环连续可调）
◆极限真空度：1Pa
◆反射膜均匀性：片内≤±4%，片间≤±4%，批间≤±5%
◆沉积均匀性：≤±5%
◆内置的Profile TC 实时显示工艺过程恒温区内前、中、后三点的实际温度