型号: | CGB-XXXX-XX |
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品牌: | 华林嘉业 |
原产地: | 中国 |
类别: | 工业设备 / 通用机械 / 清洗、清理设备 |
标签︰ | 清洗机 , 外延片清洗 , 清洗设备 |
单价: |
-
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最少订量: | 1 台 |
即时通讯: | 最后上线︰2012/01/05 |
半自动GAN/GaAs外延片清洗机
※ 控制模式: 手动控制模式 自动控制模式。
※ 清洗规格:2 inch ,4 cassette/Batch, 25 Pcs/cassette; 4 inch,2 cassette/ Batch,25 Pcs/cassette;
※ 工艺说明:手动方式实现放件,取件,槽体间传送件。
※ 设备形式: 室内放置型。
※ 腐蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性;
※ 工艺参数(温度,时间,DIW水清洗模式、时间可调)手动由触摸屏界面可设定;
※ 机台前方为清洗工作区域,机台后上方为电器和气路布置区域,后下方为液路布置区域。
※ 药液供给及补液方式: 分体式CDS自动供液系统
※ DI槽配有在线式水质检测装置;
※ 配有分体式废液回收系统;
※ 强排风风通道:¢
付款方式︰ | 款到3日内发货 |
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