产品描述
主要特点：
小体积大行程
分辨率高
开环、闭环控制两种选择
闭环线性度与重复定位精度高
开环100μm×100μm×100μm行程
超小体积,开环、闭环两种选择
快速扫描与定位
主要应用于：光纤调整与光电子学应用、扫描系统、机械工程、精密仪器制造、光纤定位、激光光学、微操作。
X、Y、Z 轴运动
开环行程范围：100μm
闭环行程范围：100μm
开环分辨率：0.2nm
闭环分辨率：2nm
线性度：0.1%F.S
重复定位精度：30nm
产品图片
图 1
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