| 型号： | - |
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| 品牌： | - |
| 原产地： | 中国 |
| 类别： | 电子、电力 / 仪器、仪表 / 其他仪器、仪表 |
| 标签︰ | 扫描电镜 , 离子溅射仪 , 电镜制样 |
| 单价： |
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| 最少订量： | 1 件 |
| 最后上线︰2015/06/20 |
该系列小型离子溅射仪是依据二极直流溅射原理设计而成的，最简单、可靠、经济的镀膜设备。不但满足扫描电镜制备薄膜需要，而且也可作为实验设备，溅射较厚的导电膜层用于其他实验。
可选择普通溅射电极，也可选择磁控溅射电极，有1200V、1600V和3000V电离电压可选。
可选蒸碳附件
基本指标
靶（上部电极）：Au/Pt：直径：50mm，厚度：0.12mm
真空样品室： 直径：160mm，高：120mm
样品台及工作距离：高配旋转样品台，简配固定样品台，高度手动调节
溅射面积： Ф50mm，最大放置
真空指示表： 最高真空度：≤ 4X10-2 mbar
离子电流表： 最大电流：50mA/100mA
高压：-1200V/ -3000V
定时器： 最长时间：1~3600S
真空度手动控制：微型真空气阀，可连接φ3mm软管
可通入气体： 多种
机械泵： 2L/S （120L/min）
