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MKS 626B/622B 系列压力薄膜规，一个高性能的，金属薄膜的压力传感器，±15VDC 的输入和 0-10VDC 的模拟线性输出信号，它可以和 MKS 压力显示器连接，也可以和其他满足要求的控制仪器相连接。真空或压力的变化造成了传感器内部的金属薄膜的位置变化，金属薄膜的变化通过一个信号处理输出电路转换成一个可用的输出信号，提供非常快速的响应速度（小于 20 毫秒） ，非常低的滞后效应，杰出的可靠性和很高的分辨率（全量程的 0.001%） ，优良的抗腐蚀能力，双面焊接的结构保证了操作的安全性。传感器本身可以承受重复的高压至 45Psia（3.1Bar）而不会有任何的漂移和变形。

MKS 626B/622B 系列薄膜规是在常温下工作的，它的全量程范围从 0.1Torr  到 1000Torr，适合于工业制造，电子，研发等工业领域。

产品特点：
● 直接测量腔体的压力值，与气体类型无关
● 长期的输出稳定性保证了在任何应用中的现代技术发展的要求
● 耐热的镉镍钛合金薄膜在化学反应环境中将不会有任何的损坏，包括卤素，
电离水，蒸汽和臭氧
● 高的可靠性保证了偶然的系统意外造成的损坏
● 符合欧洲 CE，EMC 标志

技术参数：
测量范围：1.0*10ˉ1 到 1000 Torr
          或 1.3*10ˉ1 到 1300 Mbar
          或 13 到 130000 Pascal
周围温度：0-50℃
过压限制：45 psia
响应时间：小于20毫秒
电源要求：±15VDC,35ma
模拟输出： 0-10VDC,线性输出
测量精度：小于读数值的 0.25%。
分辨率：满量程的 0.001%
开机预热时间：无需
安装方向：任意方向
内部容积：6.3 立方厘米
材质：不锈钢，铝合金（暴露于工艺腔体中部分为耐热的镉镍钛合金薄膜）
重量：97 克 
法兰形式：1/2”Tube,8 VCR,8VCO,KF16,KF25.

安  装：
尽管压力计可以安装在任何方向，但是为了防止任何外部的东西进入压力计入
口而造成膜片的损坏，我们还是建议将 MKS压力薄膜规的入口朝下安装。
尽可能的远离震动，满量程在 0.05Torr，0.1Torr 和 1Torr 压力计是最敏感的，
应当将压力计远离所会产生的震动源。
检查 零点：
在初始操作前需要检查压力计的零点并且以后要定期检查，零点的设定可以通过调整位于压力计上方的零点电位计或者用 MKS 压力控制器的前面板上的来操作，在零点调整前，压力计必须工作在很稳定的状态下。