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光发射显微镜 1
  • 光发射显微镜 1

光发射显微镜

型号:EMMI
品牌:QFI
原产地:美国
类别:工业设备 / 电子电气产品制造设备
标签︰光发射显微 , 光发射 , 显微镜
单价: US $250000 / 件
最少订量:1 件
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陈委清(个人账号)

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即时通讯:最后上线︰2021/10/19

产品描述

原理是利用光子辐射来探测,快速找到失效的缺陷部位;主要应用于:集成电路元器件失效分析、无损失效分析、细微缺陷探测。

1. EMMI光发射显微镜是一种效率极高的失效分析工具,提供高灵敏度非破坏性的故障定位方式,可侦测和定位非常微弱的发光(可见光及近红外光),捕捉各种元件缺陷或异常所产生的漏电流可见光;
2. EMMI侦测对应故障种类涵盖ESD、Latch up、I/O Leakage、Junction Defect、Hot Electrons、Oxide Current Leakage等所造成的异常;
3. EMMI对漏电流的侦测可达微安级别。

特点:
1. 高分辨率,最高达0.4µm
2. 正面、背面双向探测
3. 纳米级波长
4. 高灵敏度光子探测头
5. 可与其它仪器配合使用,如探针台
6. 全电脑控制

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光发射显微镜 1
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