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一、用途： http://www.vihent.com

    透反射式硅片检测显微镜VH-500主要用于太阳能电池硅片的观察.它能生产高清晰的图像,立体感较强，成像较清晰和宽阔，又具有长工作距离，并具有较大的视场范围和相应的放大倍数, 配有高像素的数码摄像头,可以很清楚地看到硅片的”金字塔” 的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析服务.是太阳能电池硅片的普遍专用显微镜。

硅片检测显微镜可以观察到肉眼难观测的位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留物成分分析.杂质包括: 颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等，造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象，使磨片不合格. 是太阳能电池硅片生产企业进行质量控制最普通的仪器.

二、技术参数   http://www.vihent.com

1.物镜

    反射物镜 Pc4X,Pc10X,Pc25X,Pc40X(明场/暗场),Pc63X

    透射物镜 Pc4X,Pc10X,Pc25X,Pc40X,Pc100X

2.目镜

     8X,10X,10X(带0.1mm分划值),12.5X，16X

3.光学总放大倍数：40X-2000X 

4.测微尺: 0.01mm物镜测微尺

5.物载片平板

6.滤色片:蓝,绿,黄,灰,毛玻片

7.检偏镜

8.灯泡:12V50W卤素灯

9.光源：落射光和透射光

10.成像系统:500万高像素的数字摄像头

三、系统组成

电脑型硅片检测显微镜(VH-500C): 1、显微微 2、适配镜 3、500万高像素摄像头

                               4、计算机(选配)

四、总放大参考倍数

    电脑型硅片检测显微镜(VH-500D)：50--40000倍 （17寸显示器为例）

五、选购件   http://www.vihent.com

1.二维测量软件VH-100   2.目镜： 20X 10X(带刻度)  3.物镜：20X  80X

上海维翰光电科技有限公司

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