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半自动GAN/GaAs外延片清洗机   1
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半自动GAN/GaAs外延片清洗机

型号:CGB-XXXX-XX
品牌:华林嘉业
原产地:中国
类别:工业设备 / 通用机械 / 清洗、清理设备
标签︰清洗机 , 外延片清洗 , 清洗设备
单价: -
最少订量:1 台
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北京华林嘉业科技有限公司

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即时通讯:最后上线︰2012/01/05

产品描述

半自动GAN/GaAs外延片清洗机  

  控制模式:  手动控制模式   自动控制模式。

清洗规格2 inch ,4 cassette/Batch, 25 Pcs/cassette   4 inch2 cassette/ Batch25 Pcs/cassette

  工艺说明:手动方式实现放件,取件,槽体间传送件。

  设备形式: 室内放置型。

  腐蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性;

 工艺参数(温度,时间,DIW水清洗模式、时间可调)手动由触摸屏界面可设定;

  机台前方为清洗工作区域,机台后上方为电器和气路布置区域,后下方为液路布置区域。

 药液供给及补液方式: 分体式CDS自动供液系统

  DI槽配有在线式水质检测装置;

  配有分体式废液回收系统;

  强排风风通道:¢200mm×1;排风量:1500m3/h×2


付款方式︰款到3日内发货

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半自动GAN/GaAs外延片清洗机   1
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