产品描述
一、太阳能扩散炉简介
北京晶伏华控电子设备有限公司 生产的 JFHK-KSII双管微控太阳能扩散炉 专用于在实验室中对2.5cmX2.5cm的太阳能电池方片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺,具有工艺稳定,自动化程度高等特点,是理想的科研设备。
二、太阳能扩散炉主要技术指标
1、外型形式:卧式双管结构
2、加热方式:电阻丝(瑞典KANTHAL)
3、恒温区长度:400mm
4、工艺管:优质气炼石英管,配石英管清洗槽,耐氢氟酸
5、石英舟:单次可装载20片2.5cm×2.5cm方形硅片,背靠背装片模式
6、硅片尺寸:厚度为200μm左右,2.5cmX2.5cm方片
7、送、取片方式:熔凝石英推拉杆,手动将石英舟推入、拉出石英管送、取片
8、扩散方式:配置2套恒温源瓶,支持液态扩散方式
9、温度控制:日本原装RKC控温仪,三段控温技术
10、工作温度范围:400-1250℃
11、恒温区精度:上管:600℃ <工作温度<1250℃ ±0.5℃ /400mm
400℃ ≤工作温度≤600℃ ±1℃ /400mm
下管:600℃ <工作温度<1250℃ ±0.5℃ /400mm
400℃ ≤工作温度≤600℃ ±1℃ /400mm
12、单点温度稳定性、重复性:上管:600℃ <工作温度<1250℃ ±0.5℃ /400mm
400℃ ≤工作温度≤600℃ ±1℃ /400mm
下管:600℃ <工作温度<1250℃ ±0.5℃ /400mm
400℃ ≤工作温度≤600℃ ±1℃ /400mm
13、升温斜变能力:最大可控升温速率:18℃/min 最大可控降温速率:5℃ /min
14、升温功率:≤15KW/管
15、气路系统:国产质量流量计+PLC控制,上下两管共配有大N2、小N2、O2、 H2四路工艺气体,通过阀门切换供上管或下管使用。
16、气路系统气密性:1×10-7 Pa·M3/S
17、控制系统:PLC+触摸屏自动控制整个工艺流程, 自动/手动方便切换,温度和气流随时间变化的单独控制
18、尾气处理:设备配有尾气处理系统
19、电源:三相五线380V、50Hz
北京晶伏华控电子设备有限公司可根据客户需求定制各种非标: 实验室热处理电阻炉、管式炉、太阳能扩散炉、热处理炉、高温炉、烧结炉、扩散炉、焊接炉、硒化炉、气氛炉、烤盘炉、扩散炉控制系统、真空炉、升华炉、隧道炉、氧化炉、退火炉、LPCVD炉、氢气炉、工业炉体等各种工业电炉、实验电炉等高温设备。专业团队个性化定做,厂家直接供货,欢迎广大客户来电来函。
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