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英福康IC6膜厚控制仪
产品简介：
inficon IC6膜厚控制仪在IC5可靠成熟的性能基础上，增添了更多独特的功能，可帮助您实现沉积过程的最大价值。IC6膜厚控制仪使用我们ModeLock 频率测量系统，提供稳定、高分辨率的速率和厚度测量，速率分辨率可达每 1/10 秒 0.00433 A/s，是行业中的佼佼者。IC6具有其他石英晶体控... 产品详细 IC6膜厚控制仪 的详细介绍

IC6 膜厚控制仪将INFICON 薄膜控制仪验证的性能与独特的特性结合提供超常的价值, 全部设计为您的镀膜过程取得最好的效果. IC6 膜厚控制仪采用我们的 ModeLock 频率测量系统确保最好的稳定性, 最高的分辨率和膜厚测量精度, 具有工业领先的速率辨 .00433 A/秒, 每 1/10 秒. 光学过程, 如反射膜, 带通滤光器,和增透膜得益于它的高分辨率和可靠性, 以及容纳每个过程 200 个膜层, 50 个过程的能力. 无其它石英晶体控制器有 IC6 这样的性能, 质量和特色, 以及优异的可重复性。

IC6膜厚控制仪可靠的过程控制

有全面的特性清单, 可容易地将 IC6 集成于您的系统实现完全的过程控制. 对于速率和膜厚控制, IC6 有同时控制多至 6 个蒸发源的能力. 对于源控制或速率和膜厚记录, IC6 可指定多至 12个模拟输出.仪器的逻辑和过程控制能力包括 100 个可编程的逻辑语句, 20个计数器和 20 个定时器. I/O 功能提供多至 24 个继电器输出,28个 TTL 输入, 和 14 个 TTL 输出. 逻辑语句可用于与外输入或输出协同; 允许 IC6 执行 PLC 或其它额外设备的功能. 每个逻辑语句可包括多至 5 个可用 Boolean (布尔) 逻辑链接的功能。
为过程配方的灵活性, IC6 可容纳 50 个过程, 每个过程 200个膜层. 可将过程链接在一起达到最大 10,000 个膜层.Auto Z 显著地为多材料和多膜层提高膜厚测量的精确度.仪器的 Auto Z 功能可自动确定 Z-比值, 保持膜厚和速率精度,和免除用户估值声阻的需要. 当不同材料沉积在同一晶体上, 在两种或三种材料共镀膜, 或当材料的Z-比值未知时, 这是尤其重要的。

IC6膜厚控制仪功能概览

INFICON ModeLock 技术确保获得最高、最稳定的速率和厚度测量分辨率，即使在速率极低的情况下

Auto Z 技术通过自动测定沉积材料的 Z 比值，提高厚度测量的精度

一个 IC6 即可同时、单独或以任何组合方式控制最多 6 个来源，无需使用两个或三个控制器

彩色 TFT LCD 显示屏使用户很容易看到过程的进展状况

10 Hz 测量

100ms 样本速率下频率范围为 +/-0.0035 Hz

USB 数据存储功能可存储屏幕截图、配方存储和数据记录

多个源厚度合计功能

测量低密度、低速率材料的平均速率（使用稳定源的低速率 OLED 掺杂材料沉积最多 30 秒）

速率显示分辨率可达 0.001/s

4 米 XIU 选件能够在大型系统中使用较长的真空传感器电缆

无沉积控制允许持续控制源，因为基片可以通过沉积室不断循环

6 个标准 DAC 输出和另外 6 个可选输出用于来源控制、速率或厚度监控

可选以太网通信

符合 RoHS 标准

IC6膜厚控制仪在保留了IC5的所有技术特点之外，增加了如下几点新功能：

1）TFT-LCD显示屏替代IC5的CRT显像管
2）USB数据采集接口取代IC5的软盘驱动
3）测量精度由IC5的0.0047HZ提高到0.0035HZ
4）厚度控制分辨率由IC5的0.0058埃提高到0.0043埃