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50毫秒内完成稳定的控制响应
精确、稳定的流量取决于控制响应速度，艾里卡特®质量流量控制器50毫秒内即可到达新的设定值。快速、可重复、稳定！

操作便捷
• 50-100毫秒控制响应
• 允许用户自行调节PID以获得良好的速度和稳定性
• 定制化阀门孔径以保证满量程流量的稳定性
• 同一台设备控制质量流量、体积流量或绝对压力
• 瞬间启动、无需预热：1秒内即可开始流量控制
MC 标准系列

MCR 大流量系列
精确控制大流量(50-3000 slpm)气体。艾里卡特®R系列阀门为无摩擦阀门，可精密控制大流量的气体流量，特殊的孔状模式允许我们根据您的应用需求量身定制阀门。
MCW / MCRW 低压损系列
最大限度减小压损对系统的影响，满量程压损最低仅为4mbar(0.06 psid)；艾里卡特®Whisper低压损系列质量流量控制器可控制接近大气压的压力；

最大量程：0-500 slpm。

MCS / MCRS 耐腐蚀系列
所有量程均可采用适用于腐蚀性气体的316L不锈钢结构。

MCE / MCV 半导体行业专用系列
可快速、简易地替换老化陈旧的热式流量控制器，可任意定制引脚功能使之与您的控制系统兼容，封闭式阀门设计更是符合半导体行业标准。MCV系列另增加了后置的气动截至阀 ，专门用于真空应用。可定制相应的防腐蚀系列MCES / MCVS。最大量程：0-20 slpm. 

MCD / MCRD 双向质量流量&压力控制器系列
全球首创双向质量流量控制器，可正向或反向控制气体流量。可定制低压损系列MCDW系列及防腐蚀型MCDS系列。  

常用选配项
• 后置阀门，优化真空及背压应用的控制
• 批量控制模式，依靠快速的阀门响应来分配流量，包含在累加器(TOT)功能中
• CSA认证1类2区 / ATEX认证1类2区允许设备用于危险环境
• 9针或15针D-Sub等连接接口可选
• 通讯模式有Modbus-RTU、RS-232、RS-485、PROFIBUS等可选
• 彩色背光显示屏适用于光线不足的场合