型号: | wyko 9100 |
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品牌: | bruker/vecco/wyko |
原产地: | 美国 |
类别: | 电子、电力 / 仪器、仪表 / 分析仪器 |
标签︰ | wyko 9100 , 轮廓仪 , 纳米级粗糙度 |
单价: |
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最少订量: | - |
最后上线︰2022/06/09 |
vecco wyko 光学轮廓仪 bruker 3d 轮廓仪 粗糙度仪 纳米级 华南
实现更快,更简便测量
自动光学倾斜测量头
全自动X,Y, Z样品台
自动光镜转塔,放大镜,和测试光选择
更灵活而稳定的防震
集成式充气式防震台
高稳定度,空间节省
更强大的测量和分析
简单明了,人性化的工作流程
实时自动优化测量
完整的数据分析软件包
可定制的分析报告
测量高效
布鲁克独有的倾斜测量头为用户提供了极大的灵活性,实现快速测量和观察。通过在在显微镜头中结合头部倾斜功能,布鲁克这一技术实现了将观察位置始终保持在焦平面处,为用户实际使用时带来了很大便利。
准确追踪和使用的简便性对于在不同表面上快速检测是至关重要的,这样在批量测试时速度也大大提高。
这一特点结合样品台与物镜的电动控制使得三维光学显微镜Contour GT-I 成为了具有较小占地却能同时满足多种测试要求的测量平台。
业界最方便灵活的测量方式
除上述优点外,三维光学显微镜ContourGT-I通过独有的设计直接在机台上集成防震系统,使其直接满足各种环境条件,包括工厂,实现迅速准确地测量。
这一经过严格测试的防震系统为用户提供不折不扣的优化测试条件,从而得到重复性极佳的定量数据。
三维光学显微镜ContourGT-I为用户在科研或生产环境下提供各类测试要求,保证优异,可计量的可靠测试结果。
最大扫描量程 | 可达10mm |
垂直分辨率 | <0.01nm |
RMS 重复性 (PSI) | 0.01nm |
台阶高度准确性 | 0.75% |
台阶高度重复性 | <0.1% 1 sigma repeatability** |
最大扫描速度标准相机 | 73 μm/sec |
样品反射率 | 0.05%-100% |
最大坡度–光滑面 | 可达40° |
最大坡度–粗糙面 | Upto87° |
XY样品台 | 150mm(6in.) 自动 |
Z调焦范围和样品高度 | 100mm(4in.)automated,(6in.) |
头部倾斜 | ±5°自动 |
光学测量模块 | 双LED(专利)照明,单筒物镜或转塔,单个放大镜或自动转动放大镜 |
物镜 | 同焦面:2.5x,5x,10x,20x,50x,115x |
长工作距离:1x,1.5x,2x,10x | |
TTM:2x,5x,10x,20x | |
明场:5x,10x,20x,50x | |
放大镜 | 0.55x,0.75x,1x,1.5x,2x |
相机 | 标配:640x480 |
高清(可选):1280x960 | |
彩色(可选):640x480 | |
软件系统 | 基于Windows 7 64位操作系统的Vision64 分析软件 |
可选软件包 | 生产模式; Annular 分析; 分辨率提升模式高速自动对焦; 光学分析包; 高级成像模式; 厚膜测试模式; MatLab; PSS(图案化蓝宝石衬底)测试模式 |
校准 | 可溯源的台阶高度标准样 |
占地 | 450mm (W) x 533mm (D) x 745mm (H) |
最大可测样品重量 | 十公斤 |
系统总重 | 六十公斤 |
保修期 | 12 个月 |
在8um及以上的台阶高度标样上测得.
VSI模式下对10μm台阶测试重复性指标. 平均标准偏差<10nm.