型号: | frd-001 |
---|---|
品牌: | 福润德 |
原产地: | 中国 |
类别: | 工业设备 / 电子电气产品制造设备 |
标签︰ | 四管扩散炉 , 扩散炉 , 微控扩散炉 |
单价: |
¥65000
/ 台
|
最少订量: | 1 台 |
最后上线︰2017/09/15 |
扩散炉全自动控制系统是新一代扩散炉全自动系统,可实现温度、推拉舟、MFC电磁阀等的全自动控制。无障碍工作时间大于8千小时。其控制精度及质量完全取代进口的同类产品。该系统操作方便、控制精确、稳定可靠、价格合理,特别适合国人的操作习惯。
●系统由DTC(数字温度控制单元)、DPC(数字程序控制单元)和计算机系统。每个炉管都使用独立的DTC和DPC控制,互不影响。四管扩散炉使用四台DTC和四台DPC,共用一台工控计算机管理。工控计算机配套15″TFT高清晰液晶显示屏。
●控制系统使用window/XP操作系统,可选择中文或英文操作界面。先进的HMI人机界面、菜单式管理、五级密码、测量数据直观显示、可储存数千条工艺曲线(每条曲线100步)等。式操作更方便、更可靠。该系统可广泛应用在新扩散炉的升级改造
●监控软件主要由权限设置、监控视窗、设备组态、帮助彩单四部分组成。监控视窗主由图视界面、数控监控界面、故障记录界面、Recipe管理界面、Recipe编写、数据去线记录界面六个界面组成。
产品特点:
◆采用高强度的CPU处理器控温CPU43P和CJI系列PLC,运行可靠控制精度高,具有自动分布功能
◆采用进口PLC进行上下传递参数,传递速度快,运行稳定
◆ 显示部分采用工业控制机,操作方便,可靠,显示各参数直观,方便查看实时数据曲线和历史曲线
◆ 所有软件具备自动测温区功能,具有事件记录,超温报警,气体偏差报警,断偶报警,过热报警等功能
◆ 在1280℃单点稳定性±0.5℃
主要技术指标:
◆ 工作温度:600—1290℃
◆ 恒温区长度:1000mm
◆ 炉管口径:可供4”、5”、6”片
◆ 气路系统:三路主管道HLC、O2、N2,质量流量计控 制,所有管道配置全部采用进口VCR接头
◆工作台:采用层流水平净化,净化等级:100级,
◆ 台面全部采用不锈钢