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晶圆高真空退火炉 1
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晶圆高真空退火炉

型号:CL
品牌:晨立
原产地:中国
类别:工业设备 / 电子电气产品制造设备
标签︰扩散炉 , 氧化炉 , 退火炉
单价: ¥250000 / 台
最少订量:1 台
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青岛晨立电子有限公司

免费会员山东省青岛市
最后上线︰2024/06/12

产品描述

晶圆真空退火炉主要用于半导体晶圆在高真空环境下的低温退火。

尺寸:4-8英寸晶圆

晶圆舟:标准25片

控温精度:±3

升温速率:10/min

洁净等级:百级洁净

真空度:5*10-4 Pa

使用温度:200-550度


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晶圆高真空退火炉 1
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