型号: | CL |
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品牌: | 晨立 |
原产地: | 中国 |
类别: | 工业设备 / 电子电气产品制造设备 |
标签︰ | 扩散炉 , 氧化炉 , 退火炉 |
单价: |
¥250000
/ 台
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最少订量: | 1 台 |
最后上线︰2024/06/12 |
晶圆真空退火炉主要用于半导体晶圆在高真空环境下的低温退火。
尺寸:4-8英寸晶圆
晶圆舟:标准25片
控温精度:±3℃
升温速率:10℃/min
洁净等级:百级洁净
真空度:5*10-4 Pa
使用温度:200-550度