抗静电高品质橡胶镀膜拥有柔软介质能附著于工件表面(例:模具/轨道/手臂/金属或陶瓷盘面.......等),镀膜本身也同样拥有抗沾黏的效果,针对不同的制程需求亦可增加镀膜厚度来改善与提升产品良率。
1) 橡胶镀膜可吸附或缓冲机构对材料的瞬间冲击,改善连续性的压伤或产品龟裂等异常,克服材料本身变形量问题。
2) 静电消散与抗沾黏则可改善partical与制程中产生之异常物质沾附,易清洁的特性也可降低技术员/工程师保养时间,提升机台稼动率。
案例1: 因晶圆本身有翘曲问题,机台原手臂吸取时会产生真空不足的问题导致晶圆于传送过程中"晶圆掉片"造成晶圆破裂。
案例2: 晶圆凸块(Bumping)制程,原手臂在吸取过完回焊炉的材料会产生锡球压伤甚至产生掉球的问题,从晶圆上脱落的锡球也会残留于手臂上造成下一片材料异常。