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1、  低温探针台工作原理： 低温探针台可用来测试芯片、晶圆片和封装器件应用领域包括半导体、MEMS、超导、铁电子学、材料科学以及物理和光学等探针可以施加直流、低频信号或微波信号等（可选一到八探针）高效率连续流低温恒温系统使用液氦或者液氮可使温度控制在3K到475K（可选600K）各类无制冷剂制冷系统（Basetemperature:5K,8K,10K等）可施加各类磁场（永磁体、电磁体和超导磁体） 2、低温探针台型号及技术参数如下：

CPS-25-CF-HV-10K

无氦低温探测台

用于10K到460K

成本效益，稳定，可靠，使用方便  可达25mm直径的晶片

- 温度范围从4.5K到470K（0.1K或更好的精度和稳定性）

- 闭环循环制冷机

- 高达25mmx25mm样品表征

- 选择DC至67GHz的测量与合适的探头

- 4 微控探针臂（最多8个，可以在可选的配置），以高度准确的XYZ和任选θ调整，具有可达4英寸X，1.75英寸Y和0.5的英寸Z

- 热锚定探针针尖

- 温控辐射屏蔽

- 改进真空等度的组件的

- 方便的顶部观察窗口（高纯度的石英）

- 高频振动阻尼

- 定制的高水平，以适应各种的探测需求

详细参数

可达25mm，50mm以上100毫米

无液氦闭路循环制冷机，包括冷头，压缩机，制冷机和氦软管

温度范围：低于10K到480K

控温精度：0.1K

温度分辨率：0.001K

热锚探头武器和辐射屏蔽

chuck温控（加热）盘

变焦70系统（4UM分辨率）标准，缩小125或160变焦系统可作为选件，以及更便宜的解决方案

同轴和环形照明LED照明

数码相机从100万像素到10百万像素附带相机的图像和视频捕捉软件，以及尺寸测量能力

软件进行计算机控制和温度监控。几个温度测试序列是预编程和定制序列可以由最终用户很容易地编程

 

 

CPS-100-CF-77K

无氦低温探针台对于晶圆级测试在77K至480K

- 成本效益，稳定，可靠，方便使用可达100mm直径的晶片

- 温度范围从4.5K到480K（0.1K精度）

- 闭环循环制冷机

- 高达2英寸直径的表征样品

- 选择DC至67GHz的测量与适当的探头

- 4 微控探针臂（最多8个，可以在可选的配置），以高度准确的XYZ和任选θ调整，具有最多4英寸X，1.75英寸Y和0.5英寸Z

- 热锚定探针针尖

- 温控辐射屏蔽

方便的顶部观察窗口（高纯度的石英）

- 高频振动阻尼

- 定制的高水平，以适应各种的探测需求

详细参数

可达25mm，50mm以上100毫米

无液氦封闭循环制冷机包括冷头，压缩机，制冷机和氦要求软管

低于77K到480K

控温精度：0.1K

温度分辨率：0.001K

热锚探头武器和辐射屏蔽

chuck温控（加热）盘

窗口材料：熔融石英，定制材料和涂层可

变焦70系统（4UM分辨率）标准，缩小125或160变焦系统可作为选件，以及更便宜的解决方案

同轴和环形照明LED照明

数码相机从100万像素到10百万像素附带相机的图像和视频捕捉软件，以及尺寸测量能力

软件进行计算机控制和温度监控。几个温度测试序列是预编程和定制序列可以由最终用户很容易地编程

 

CPS-150-LN2/LHe-HV

液体低温探针台适合全片的测试在5K至460K范围

 

具有成本低，稳定，可靠，方便使用等特点

可达150mm直径的晶片

- 温度范围从4.5K到470K（0.1K或更好的精度和稳定性，优于在低于250K50mK稳定性）无论是用液氮或液氦冷却均可兼容

- 选择DC到110GHz的测量与合适的探头

- 4 微控探针臂（最多8个，可以在可选的配置），以高度准确的XYZ和任选θ调整，具有最多4英寸X，1.75英寸Y和0.5英寸Z

- 热锚定探针针尖

- 温控辐射屏蔽

方便的顶部观察窗口（高纯度的石英）

- 高频振动阻尼

- 定制的高水平，以适应各种的探测需求

- 电动XY，XYZ或XYZ?夹头位置调整作为选项带有不同的范围和分辨率

 

详细参数

175毫米D，最多3个辅助夹头可以安装

液氮或液氦冷却

温度范围：5K至480K可用

控温精度：0.1K

温度分辨率：0.001K

热锚探头武器和辐射屏蔽

窗口材料：熔融二氧化硅或石英，定制材料和涂层可

同轴和环形照明LED照明

数码相机从100万像素到10百万像素附带相机的图像和视频捕捉软件，以及尺寸测量能力

隔振

- 空气减震系统隔振表

- 无振动隔离波纹管

- 在卡盘振动<30nm

 

CPS-CF

无氦低温探针台

CPS-CF成本低，稳定，可靠，方便在非常低的温度对器件和电路的探测。内置隔振，智能热管理和工程热补偿，使这个系统非常适用于广泛的纳米电子学，从跨越应用程序（石墨烯研究，分子电子学等）。该系统采用闭式循环制冷机和专有的热管理，具有经济快速的操作。内置隔振的振动最小化符合行业标准的水平。超稳定的微操纵阶段允许在设备功能的探针尖端的准确和可重复的接触。探头和硅片夹的多种选择允许应用程序超精密，FA-规模的测量，射频测量等等

 

具有成本低，稳定，可靠，方便的使用的优点

- 温度范围从4.5K到480K（0.1K精度）

- 闭环循环制冷机 成本低

- 高达2英寸的直径样品

- DC至67GHz的测量

- 4 微控探头臂（最多8个提供选装配置），高度精确的XYZ和可选θ调整

-热锚定探针针尖

- 温控辐射屏蔽

方便的顶部观察窗口（高纯度的石英）

- 高频振动阻尼

- 定制的高水平，以适应各种的探测需求

 

详细参数

可达50mm

无液氦 封闭循环制冷机包括冷头，压缩机，制冷机和氦要求软管

温度范围：4.5K到480K，6.5K至480K，10K到480K

控温精度：0.1K

热锚探头武器和辐射屏蔽

chuck温控（加热）盘

夹头和探针臂的温度监控

窗口材料：熔融石英，定制材料和涂层

变焦70系统（4UM分辨率）标准，缩小125或160变焦系统可作为选件，以及更便宜的解决方案

同轴LED照明

数码相机从100万像素到10百万像素附带相机的图像和视频捕捉软件，以及尺寸测量能力

基于LabVIEW的软件进行计算机控制和温度监控，可以由最终用户很容易地编程

空气减震系统隔振表

- 无振动隔离波纹管

低温探针台的特点：

全自动真空探针台由美国MicroXact公司生产，该探针台通过真空系统、气体压力系统及自动化软件实现对系统真空腔内真空度的精确控制，通过光学显微镜及搭配的数字成像系统实现对测试晶圆影像的捕捉及存储，并通过软件控制自动马达根据设定程序实现晶圆测试过程中的自动对准及移动测试功能。同时配置的变温载物台通过加热和冷却装置实现样品的变温测试目的