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GL纳米压印机

型号:GL4/6 ,GL6/8/12
品牌:GL
原产地:中国
类别:电子、电力 / 其它电力、电子
标签︰纳米压印机 , NIL纳米压印 , AR压印
单价: ¥600000 / 件
最少订量:1 件
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上海螣芯电子科技有限公司

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产品描述

GL4/6 R&D

Multi-functional NIL machine for R&D

 

➢Multi-function NIL machine for R&D and small

volume production

➢Easy switch between different NIL configurations,

flxibilities for R&D

➢Functions: High resolution NIL on spin-coated

substrates, Puddle dispensed NIL for Micro

molding processes, NIL on curved or spherical

surfaces

 

GL6/8/12 CLIV

High resolution NIL machine for mass production

 

➢NIL machine equipped with GermanLitho patented

CILV technology for mass production

➢NIL on spin-coated substrates for high resolution

and high aspect ratio nanostructures

➢Automatic working stamp replication, imprinting

and demolding processes, excelent imprint

uniformity over large area

➢Better than 40nm resolution, 10:1 aspectration,

20nm residual layer thickness

 

GL8 MLA

NIL machine for microlens array production

 

➢Mass production NIL machine for micro-molding of

microlens array or diffuser processes

➢Automatic working stamp replication, imprinting

and demolding processes, resist dispense

integrated

➢Active control of gap and parallelism between

stamp and substrate, excelent TTV

➢Alignment for wafer stacking processes


产品图片

GL纳米压印机 1
图 1
GL纳米压印机 2
图 2
GL纳米压印机 3
图 3

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