敝司代理Kohzu的芯片检测机，可以进行非接触式平坦度检查，拥有SEMI规格对应、Wafer自重修正补偿、工作台表面不平修正补偿等各种方式来保证检测准确性。有多种规格可供客户选择，也可按照客户要求给客户设计制作专用夹具，在设备导入前也可由客户提供样品进行测试。
