| 型号： | - |
|---|---|
| 品牌： | 晨立 |
| 原产地： | 中国 |
| 类别： | 工业设备 / 电子电气产品制造设备 |
| 标签︰ | 退火炉 , 热处理炉 , 扩散炉 |
| 单价： |
¥220000
/ 件
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| 最少订量： | 1 件 |
| 最后上线︰2024/12/14 |
用途：
高真空退火炉供大规模集成电路、MEMS 生产线用做6"硅片的合金、氧化、退火、烧结、扩散等工艺使用。同时也可下沉工艺，完成4寸wafer 的相应工艺。
一、设备结构:
1、操作方式:左(右)手操作方式
2、硅片尺寸:圆形6寸片
3、工艺布局:满足客户工艺要求
4、自动化程度:工控机控制系统自动控制工艺流程
5、送取片方式:手动进出舟。
6、外形:主机1台，主机架为卧式两管。
二、主要技术参数:
1、加热炉管有效口径:满足6英寸硅片。可向下兼容5寸和4寸硅片。
2、工作温度范围: 200~800℃
3、恒温区长度及精度: 600mm，
4、控制方式:由工控机统一管理工艺
5、真空度：2*10-4 Pa
