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链（带）式隧道炉系列： 
　　设备用途：用于半导体器件烧结、焊接、烘干、管壳气密封装等。 
　　 
　　链（带）式烧结炉特点： 
　　★本设备为气氛保护炉，保护气氛为氢气、氮气、氩气等。 
　　★设备具有连续工作性，保证生产效率。 
　　★独特的气幕帘与机械幕帘结合，确保炉膛与空气隔绝。 
　　★多温区控制炉温，方便调整工艺曲线。 
　　★链带速度无级连续可调。 
　　★根据用户要求可配加湿器。 
　　 
　　链（带）式烧结炉主要技术指标： 
　　★带宽：90～350　mm 
　　★炉膛高度：100～200　mm 
　　★炉膛宽度：100～370　mm 
　　★冷却段长：1000～3000　mm 
　　★温度范围：300～1050℃ 
　　★等温区长：600～1500　mm 
　　★控制精度：±2℃ 
　　★控制段数：4～10段 
　　★带速：20～500　mm／min 
　　★升温时间：90～240min 
　　★升温功率：20～120　KVA 
　　★保护气体：3～5路氮气0～100　l／min　一路氢气0～80　l／min