型号: | - |
---|---|
品牌: | 超迈光电 |
原产地: | 中国 |
类别: | 工业设备 / 化工设备 |
标签︰ | 镀膜机 , 刻蚀机 , 真空炉 |
单价: |
-
|
最少订量: | 1 套 |
即时通讯: | 最后上线︰2023/12/01 |
1. 用途:
本设备用于电子器件在真空中钎焊、退火、回火、除气工艺。
2. 主要技术资料:
2.1 工作温度:600-1400℃(工作温度)
2.2 温度均匀性:±5℃ (600℃保温半小时测试)
2.3 有效工作区尺寸:定制
2.4 满载重量:定制
2.5 工作真空度:8×10-5Pa
3. 结构说明及工作原理:
本设备由炉体、水冷系统、真空系统和电气控制系统组成。
3.1 炉体:炉体由加热炉、炉门和后封头组成。炉体安装在底架上。
3.1.1 加热炉从内到外由加热器、隔热屏、炉壳构成。
3.1.2 炉门是个夹层的椭圆封头,夹层内通水冷却,水路接法为下部进水上部出水。炉门正中设有视镜,用来观察炉内工件加热情况。视镜内设有活动挡板,只有观察炉内时才打开挡板。
3.1.3 炉体后封头是夹层椭圆封头,封头正中有充气口炉内需要降温时,开启充气电磁阀,氮气通过管道从端面隔热屏上的六个喷嘴进入炉内,而从炉膛的另一端排出。
3.2 水冷系统对炉壳、炉门、后封头和电极分别通水冷却。
3.3 真空系统
3.3.1 真空系统由泵、阀、管道和真空规管等组成。
3.3.2 主要配置:
分子泵:国产货进口(可选配扩散泵)+干泵:国产货进口(可选配油封泵)
3.4 电气控制部分
3.4.1 结构
控电柜采用大板式结构,控电柜门板上装有触摸屏、紧停按钮和三只温度控制仪等。电器板安装有空开、交流接触器、中间继电器、24伏直流电源、三套控制信号转换系统、阻容保护器等。
3.4.2 温度调节控制原理
设有三套加热控制系统,分别控制加热器1、加热器2和加热器3。加热器与变压器连接用铜排。
3.4.3 触摸屏的使用:
触摸屏用于显示当前设备的加热电流、电压及设备工作状态并可通过触摸屏的画面切换完成对设备的操作及温度曲线的显示、报警提示报警历史记录等功能。
触摸屏分为设备运行、设备检修、温度曲线、报警日志、关于我们六幅操作界面,功能如下:
设备运行 —— 设备正常运行时的启动界面。
设备检修 —— 用于设备调试运行、手动操作时及设备检修时界面。