| 型号： | - |
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| 品牌： | 超迈光电 |
| 原产地： | 中国 |
| 类别： | 工业设备 / 化工设备 |
| 标签︰ | 镀膜机 , 刻蚀机 , 真空炉 |
| 单价： |
-
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| 最少订量： | 1 套 |
| 最后上线︰2023/12/01 |
●Research系列高真空中频感应炉，主要用于在高温、高真空环境或低压气氛保护下，对功能材料进行蒸发提纯、热处理、烧结、熔炼、生长等工艺制程，该设备采用公司专有高真空系统，能防止高温工艺制程对非金属功能材料表面的影响和侵蚀，采用中频感应电源加热匹配感应线圈，对石墨、铱金、钼、钨等难熔坩埚进行加热，具有效率高、稳定可靠的特点。
主要技术参数：
1. 加热方式：中频感应加热；
2. 工作温度：2500℃长期运行；
3. 仪表控温精度：0.3级；
4. 坩埚尺寸：定制；
5. 具有升温速率调节功能；
6. 极限真空度：优于8×10-4Pa（冷态、空载）；
7. 真空排气机组采用水冷匹配自然泄水方式；
8. 设备的漏率：低于6.0×10-6Pa·m3/s；
9. 设备总功率：约50-120KW。
