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品牌: | 福润德 |
原产地: | 中国 |
类别: | 电子、电力 / 其它电力、电子 |
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单价: |
¥1
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最少订量: | 1 件 |
最后上线︰2024/09/03 |
太阳能扩散炉主要满足光伏电池生产线对125mm×125mm、156mm×156mm多晶硅、单晶硅硅片进行扩散工艺。目前有第二代闭管扩散炉和第三代软着陆扩散炉。
技术指标:
可处理硅片尺寸:125mm×125mm、156mm×156mm
外型形式:卧式1—4管结构
载片量:400片/管
扩散方式:闭管扩散、软着陆全封闭
工作温度:200℃—1300℃
恒温区长度及精度:200mm—1100mm≤±1℃
单点温度稳定性、重复性: ≤±1℃/24h
温度控制:5段控温
总功率:120KVA
送片装置:悬臂推拉舟,碳化硅桨最大载重17kg
气路系统:1—5路工艺气体/管
气体控制:进口MFC
控制方式:工控机、触摸屏
Thinnerwafers:180Um
Break rate:0.8%
方阻均匀度范围:片内±5%,片间±5%,批间±5%