首页 > 产品信息 > 电子、电力 > 其它电力、电子

程控扩散炉 1
  • 程控扩散炉 1

程控扩散炉

型号:-
品牌:福润德
原产地:中国
类别:电子、电力 / 其它电力、电子
标签︰ -
单价: ¥1 / 件
最少订量:1 件
发送查询

会员信息

详细信息

产品描述

扩散炉主要满足半导体电力电子器件、大功率集成电路等行业,对所加工的硅
片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、 控制系统、超净化操作系统等组成。选用工控机微控方式或者程控方式操作。

扩散炉技术指标:
可处理硅片尺寸:2—12英寸
外型形式:卧式1—4管结构
工作温度:200℃—1300℃
恒温区长度及精度:200mm—1100mm≤±0.5℃
单点温度稳定性、重复性:≤±1℃/24h
温度斜变:可控升温速率15℃/min
可控降温速率:5℃/min
送片装置:手动推拉
气路系统:1—5路工艺气体/管
气体控制:手动浮子流量计
控制方式:程控


产品图片

程控扩散炉 1
图 1

向该会员发送查询

青岛福润德微电子设备有限公司

山东青岛城阳区北万工业园区6号

电话︰
86-0532-13668894181
传真︰
联系人︰
徐鲁阳 (客服)
手机︰
13668894181

该公司相关产品信息

免责声明:以上信息由企业自行提供,内容的真实性和合法性由发布企业负责。「自助贸易」对此不承担任何保证责任。
举报投诉:如发现违法和不良资讯,请 点此处举报

中国供应商快速搜索︰

"其它电力、电子" 产品信息

"其它电力、电子" 供应商