型号: | CL |
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品牌: | 晨立 |
原产地: | 中国 |
类别: | 工业设备 / 电子电气产品制造设备 |
标签︰ | 退火炉 , 晶圆退火设备 , 热处理炉 |
单价: |
¥260000
/ 件
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最少订量: | 1 件 |
最后上线︰2025/01/12 |
主要参数:
工作温度范围: 600-1280 度。
使用温度:1200 度。
每炉可处理 25 片。标准晶圆舟 25 片。
炉管有效口径:满足 6 寸片,可向下兼容 4、2 寸。
升温功率:18KVA/每管 。
电源:三相五线制: 380V 三相五线。
具有断偶、超温报警以及二次保护功能。