Surface Treatment等离子表面蚀刻与清洗系统
产品描述
设备应用包括：
1）IC/LED/LCM等各形式封装打线前的等离子表面清洁处理
2）显影残留去除（光阻去除）
3）Blue Tape(蓝膜）残胶去除与改质
4）介电材质去除
5）TiW等金属薄膜去除
6）Silicon based Solar Cell Plasma Edge etching
7）AFP（抗指纹）表面超疏水性制程
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