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型号：ISP-90

排气速度90L/min

极限真空：5pa (3.8×10^-2Torr)

功率：0.15kw

噪音：52db

泄漏量：1x10^-2Pa.L/s （1x10^-4mbar.L/s）

重量：14kg

外形尺寸：L308mm×W214mm×H225mm

吸气接口：NW25

排气接口：NW16

冷却方式：气冷

型号：ISP-250

排气速度250L/min

极限真空：1.6pa (1.2×10^-2Torr)

功率：0.4kw

噪音：58db

泄漏量：1x10^-2Pa.L/s （1x10^-4mbar.L/s）

重量：23kg

外形尺寸：L370mm×W252mm×H336mm

吸气接口：NW25

排气接口：NW16

冷却方式：气冷

型号：ISP-500

排气速度500L/min

极限真空：1.0pa (7.5×10^-3Torr)

功率：0.6kw

噪音：60db

泄漏量：1x10^-2Pa.L/s （1x10^-4mbar.L/s）

重量：38kg

外形尺寸：L372mm×W328mm×H372mm

吸气接口：NW40

排气接口：NW25

冷却方式：气冷