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DLC俗称类金刚石，是英文“DIAMOND-LIKE CARBON”一词的缩写。DLC是一种由碳元素构成、在性质上和钻石类似，同时又具有石墨原子组成结构的物质。类金刚石薄膜（DLC）是一种非晶态薄膜，由于具有高硬度和高弹性模量，低摩擦因数，耐磨损以及良好的真空摩擦学特性，很适合于作为耐磨涂层，从而引起了摩擦学界的重视。目前制备DLC薄膜的方法很多，有热沉积、磁控、气象沉积、电弧沉积、离子源沉积等， 不同的制备方法所用的碳源以及到达基体表面的离子能量不同， 沉积的DLC 膜的结构和性能存在很大差别， 摩擦学性能也不相同。

该设备采用PVD+CVD工艺模式，可以沉积厚度在3微米以内的纯正DLC膜层，设备可配备离子源，进一步提高结合力。

一、设备配置：

1、粗抽泵+分子泵

2、质量流量计:4路

3、真空计：薄膜规1个，全量程真空计1个

4、电源：直流电源等3套

5、离子源：1套

二、DLC膜层性能

1、硬度在HV2000-2500之间

2、低摩擦系数：0.1左右

3、高绝缘性能：电阻测量在10M欧以上

三、类金刚石膜(DLC)的应用

1、DLC膜可广泛应用于各类工具、模具和刀具，如钻头、铣刀、光盘模具、冲模、塑料成型模、玻璃成型模和镁合金加工模具等。

2、滑动部件，如轴承、齿轮等。

3、汽车零部件：燃料喷射系统（气门挺杆）、柱塞、喷油针等）、动力传动系统（齿轮、滚动轴承等）、活塞部件（活塞环、活塞销等）、凸轮轴部件（销、衬套、摇臂及部分液压元件等）和其他部件（如门锁、内饰等）