| 型号： | SP100 |
|---|---|
| 品牌： | - |
| 原产地： | 中国 |
| 类别： | 工业设备 / 通用机械 / 泵及真空设备 |
| 标签︰ | 平面磁控靶 , 磁控靶 , 溅射阴极 |
| 单价： |
¥30000
/ 件
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| 最少订量： | 1 件 |
| 最后上线︰2020/08/29 |
矩形平面靶的磁场方向与靶面阴极平行，形成环形磁场，该磁场与电场E正交．当真空室内充入氩气后，便被电离放电，放电产生的A+r离子轰击阴极(靶)的表面．二次电子e1受磁场B的洛仑兹力作用，沿垂直于磁力线方向运动(如图3所示)．这些电子运动路径长，增加了气体分子磁撞的机会，使气体的电离几率增加，进而增大了溅射速率。
矩形平面靶的特点是结构简单，通用性强，膜层均匀性与重复性好，离化率相对其他方式的要高一些．但缺点是靶材的利用率低，一般约为20%左右．当辉光区，即磁力线分布区域的靶材消耗到一定程度时，将形成条形凹坑，靶材体变薄，凹坑深度达到一定程度时，靶材就不能继续使用。
目前针对贵金属，平面靶采用特殊磁场设计，可以做到40%以上的利用率。
常用规格：靶面宽度60-80-120-160 长度200-1600之间。
