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半自动探针台技术标准 1
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半自动探针台技术标准

型号:XH-Pro-8
品牌:羲和
原产地:中国
类别:电子、电力 / 仪器、仪表 / 分析仪器
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单价: -
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北京羲和阳光科技发展有限公司

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即时通讯:最后上线︰2014/07/02

产品描述

XH-Pro-8半自动探针台与测试仪配接后,能自动完成对芯片的电参数测试。
 
基本特点:
1.         采用高性能工控机,Windows操作系统;
2.         可实现2000V以内高压测试;
3.         TTL专用接口,兼容各种测试仪;
 
基本功能:
1.         Windows友好界面,动态显示测试过程;
2.         MAP图显示、支持大量数据存储;
3.       具有同步打点、延时打点(延时打点个数:1~7个)、离线打点功能;
4.         自动测试方式灵活多样(矩阵、探边、圆形等),具有探高测试功能;
5.         具有多种测试功能;
技术指标:
性能名称
技术指标
可测片径
4″、5″、6″、8″
工作台
最大行程
220mm×220mm
定位精度
≤±0.015mm/200mm
步进分辨率
0.001mm
承片台
Z向行程
10mm
Z向定位精度
≤±0.003mm
Z向分辨率
0.001mm
θ向调节范围
±10 º
θ向分辨率
0.0013 º
观察装置
双目体视显微镜
放大倍数14X~90X
上、下片方式
手动方式
外形尺寸(宽×深×高)
800mm×1000mm×1600mm
 
 
环境要求:
1.       电源:AC 220V±22V   50Hz±1Hz,功率:<1.5KW
2.       真空:< -80 KPa
3.       使用环境:温度:10ºC-30ºC 相对湿度:<70%
 
 
 
 

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半自动探针台技术标准 1
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