| 型号： | XH-MPS-150 |
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| 品牌： | 羲和 |
| 原产地： | 中国 |
| 类别： | 电子、电力 / 仪器、仪表 / 分析仪器 |
| 标签︰ | 探针台 |
| 单价： |
-
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| 最少订量： | 1 件 |
| 即时通讯: | 最后上线︰2014/07/02 |
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项 目
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性能指标
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可测圆片尺寸
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2″、3″、4″、6″
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工作台
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行程
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160mm×160mm
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结构
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精密高刚性直线导轨，滚珠丝杠
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分辨率
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0.001mm-0.01mm（根据需求丝杆导程可选）
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操作方式
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手轮
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承片台Z向
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接触/分离
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行程0.5mm
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承片台θ向
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微调范围
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±15 º
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吸片盘
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吸片方式
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真空吸附
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分档
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（2″、3″）、4″、6″单独真空吸附，三档可选
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显微镜及配件
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立柱式支架
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前、后，上、下、旋转，仰角四维可调
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显微镜
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双目体视显微镜45X
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照明灯
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LED环形灯
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相关配件
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打点器
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可调三维座，驱动DC24V
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测试探针
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高弹性钨针
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三维针座
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磁性吸附式，可调范围：x: ±6.5mm, y: ±6.5mm，
z: ±6.5mm
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外形尺寸
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610mm×560mm×500mm（长×宽×高）
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设备重量
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约30 KG
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使用环境
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电源
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AC 220V±22V 50Hz±1Hz
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功率
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0.05kW
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真空
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-80 KPa
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环境温度
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15ºC-30ºC
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相对湿度
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＜70%
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