产品描述
自动41点精密测厚仪
产品型号：进口
自动41点精密测厚仪是硅片几何测量的小型台式仪器。该指数是基于两个厚钢板相反对方展开，每个板块包含了一套非接触式电容式传感器，可测硅片厚度、TTV、弯曲度、翘曲度等。
功能特点
非接触操作
分辨率可达0.1微米
数学模拟真空吸盘
每片晶圆的最大测量时间：5秒
全自动测量，无需任何操作
可连接电脑，提供数据评估软件
提供快速、简单的重新校准操作
产品图片
图 1
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