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硼磷含量测试仪
产品型号：进口





功能特点
该测试仪可以准确的测出硅料中硼、磷等多达70多种杂质的含量。 能够进行定性及定量分析，能实现一次进样多元素同时分析，分析软件及数据处理系统便于操作，功能强大。


技术指标

■ 可编辑的分析条件和分析数据文件
■ 可创建定量分析和定性分析必须的测量条件
■ 可完成定量和定性分析
■ 可处理和确定从各种分析中获得的数据
■ 可脱机使用软件，随时查看数据库资料，修改参数

分光系统

■ 波长范围 175nm～800nm
■ 分光单元 全息凹面衍射光栅：焦距20cm
■ 中阶梯平面衍射光栅：焦距30cm
■ 检测器 进口双光电倍增管
■ 光学分辨率 0.006nm(194nm)
■ 波长驱动装置 进口步进电机，最小步距：0.0003nm

高频电源

■ 发生器 它激式电子管光源，负高压增益自动调节，自动匹配，自动点火
■ 工作频率 40.68MHz
■ 输出功率 (0.6~1.2)KW(可调)
■ 输出频率稳定性 ≤ 0.01%
■ 输出功率稳定性 ≤ 0.1%
■ 电磁场泄露强度 距机身30cm处，电场强度≤1.5V/m，磁场强度≤0.15A/m

仪器整体性能

■ 精密度 RSD ≤2%
■ 波长示值误差 ±0.001nm
■ 波长重复性 ≤0.002nm
■ 最小光谱带宽 Mn257.610nm 半高宽≤0.01nm